来源:访问:2745时间:2018-04-11
根据获得真空的发展,可划分如下:
真空区域
压强范围
托(Torr)
帕(Pa)
低真空
760-10
101325-1333
中真空
10-10-3
1333-1.33×10-1
高真空
10-3 -10-8
1.33×10-1-10-6
超高真空
10-8-10-12
10-6-10-10
极高真空
<10-12
<10-10
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